广州潽拓光电科技有限公司——大阪涡轮分子泵TG64维修
大阪真空osakavacuum定期保养方法
1、要经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。确保以真空泵运转时,油位到油标中心为准。
2、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,以确保真空泵工作正常。
3、定期检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵,试看真空泵是否灵活。并检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。
5、真空泵换油期限按实际使用情况和能否满足性能要求等情况考虑,一般新真空泵,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。
6、一般情况下,真空泵工作2000小时后需要进行检修,检查橡胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,并清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。用清洗整个真空泵腔内的转子、旋片、弹簧等,并烘干,橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时一定要轻拿轻放小心碰伤。
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大阪涡轮分子泵前级配置
日本大阪涡轮分子泵所配置的前级泵抽速,应满足
Sp> Qmax/ pj
式中, Sp——前级泵的抽速,L/s;
pj——涡轮分子泵前级压力,通常为2Pa;
Qmax——大流量,Pa. L/s,涡轮分子泵平稳抽速范围为10-1~10-7 Pa。故大流量Qmax值应等于10-1Pa下的抽速与该压力之积。
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真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。
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复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。其应用领域包括分析、半导体工业、光学、玻璃工业、涂层技术、真空冶炼、检漏技术、科研设备、照明用具行业等